阳威力通过对讲机沟通，让一位名为柏巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆，廉安平教授亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。</p>
见状，刘焱出声询问道：</p>
“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436ng-le和365ni-le，还是248n的krf（氟化氪）准分子激光作为光源？”</p>
乌光辉回答道：</p>
“现在使用的是高压汞灯产生的365ni-le作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到035微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发部已经立项开始研发，但这种技术在世界范围内，也是最前沿研发项目，开发难度非常高，不是短期内能攻克的。”</p>
这台光刻机的加工速度还是很快的，即使是初次测试，柏巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内，全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上，多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版，是晶圆工厂正在生产的ar1芯片掩膜版，其复杂程度和尺寸大小，是晶圆工厂出产的所有芯片之最。</p>
按照原本的计划，第一次光刻测试，应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标，这样一来，就可以从易到难，逐步查漏补缺，将光刻机修改完善。但廉安平教授和几个主要研发人员，对光刻机测试样机非常有信心，直接上了最大难度，也是需求量最大的ar1芯片。</p>
维创电子公司推出的第二代游戏掌机上市之后，立刻受到电玩爱好者的热捧，仅仅上市半个多月，就售出了300万台。</p>
随机配送的《c级玛丽》和《g夫小子》两款游戏，在画面、音效、游戏可玩性上，碾压市面上的所有游戏。</p>
游戏掌机热销，作为主控芯片的ar1需求量大增，可是产品合格率始终徘徊在60~70之间，提升速度非常缓慢。</p>
经过蒙小刚、廉安平教授以及几个相关领域的专家研究分析，认为ar1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。</p>
晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。</p>
廉安平教授亲自动手，使用专用夹具，将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器，拿去芯片生产线那边，去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。</p>
两个多小时之后，所有工序走完，几十片硅晶圆，变成了一千多枚封装完成的ar1芯片。</p>
刘焱、乌光辉、廉安平教授等高管和研发人员，开始动手对这批芯片进行全面测试。</p>
半小时后，所有芯片测试完成，廉安平教授对测试结果进行了汇总，最后宣布道：</p>
“此次一微米光刻机测试，共选用了35片硅晶圆，加工过后，切割封装成1750枚芯片。</p>
本章未完，点击下一页继续阅读。
