“一微米光刻机已经研发成功，并定型量产，在座的诸位功不可没。但这一切都已经是过去式，接下来，咱们要在一微米光刻机的基础上，再接再厉，研发05微米制程的光刻机。我代表维创电子公司表个态，不管研发过程中遭遇怎样的困难，需要投入几亿，十几亿，甚至几十亿的研发资金，我们维创电子也在所不惜。接下来，有请姜教授就下一代光刻机研发计划，做一下总体规划。”</p>
姜安平拿出一份手写的稿子，清了清嗓子说道：</p>
“当初刘老板提供的光刻机研发资料中，有一份05微米光刻机研发概要，点明了几个研发要点，包括光源，透镜系统，双工台，掩模台等等。</p>
其中双工台、掩膜台、控制系统、晶圆传输系统，可以通过一微米光刻机的相关部件进行升级改造达成，难度不是太大。</p>
但为了达到05微米的加工精度，光源系统和透镜系统需要重新设计，重新打造，这个难度不是一般的大。”</p>
乌光辉跟着发言道：</p>
“我是搞激光技术出身，在光刻机光源方面有一定研究。光刻分辨率想要达到05微米，光源波长需要达到365n以下，且对光源强度和均匀度都有非常严格的要求。咱们在一微米光刻机上使用的高压汞灯，理论上其极限能达035微米的加工精度，但需要对其结构进行彻底的改造，且越是接近极限，越难以达成。</p>
而被业界普遍认定是下一代光刻机光源的krf（氟化氪）准分子激光，光源波长为248n，可以使最小工艺节点提升至350-180n水平。当今世界上，很多激光相关的研究所，都在对准分子激光进行研发，进度参差不齐，达到实用水平的，一个都没有。</p>
我的建议是，在光刻机光源方面，两种线路同时研发，哪个率先取得突破，下一代05微米光刻机上，就使用哪一种光源。”</p>
一位光学方面的专家发言道：</p>
“光源波长越短，传播过程中越容易被透镜吸收。下一代05微米光刻机，如果依旧使用高压汞灯当光源，使用现在的透镜组合就足够了，顶多加工精度再提高一些。如果使用准分子激光做光源，透镜系统就需要推倒重做，组合里至少增加两枚玻璃透镜，参数也要重新设计，还有镀膜材质也要重新开发。这方面研究需要尽快提上日程，如果开发新透镜组合，需要的计算量非常的大，使用普通计算机计算，需要的时间会非常长，我建议咱们使用ar1芯片，组装一台超级计算机出来。”</p>
一位深镇大学教计算机的教授，推了推眼镜出声道：</p>
“超级计算机确实是个好东西，咱们很多研发中的项目涉及到大量数据计算和模拟测试，如果咱们实验室有一台超级计算机，可以把研发速度提高很多。</p>
维创电子公司晶圆工厂出产的ar1芯片，是世界上第一款精简指令集芯片，以10万晶体管数量，提供了远超芯片的性能，在功耗上，也只有后者的三分之一左右，是制作超级计算机的最优芯片。</p>
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